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濕製程設備整合代工

  • 清洗機

    清洗機
    配合製程需求，可搭配各式清洗機構、磨刷機微霧化清洗系統 (Micro Drop Spray)、藥水清洗等等。運用於高潔淨度的製程前或會產生髒汙的製程後。
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  • 顯影機

    顯影機
    依客戶使用之顯影液(develop)與製程，選擇相對應之槽體材料與功能性，並考慮顯影製程之均勻性與顯影速率，使用相對應噴灑系統與機構。
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  • 蝕刻機

    蝕刻機
    依客戶使用之蝕刻液( etch )與製程，選擇相對應之槽體材料與功能性，並考慮蝕刻製程之均勻性與蝕刻速率，匹配相對應噴灑系統與機構長度。
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  • 剝膜機

    剝膜機
    依客戶使用之剝膜液(stripper)與製程，選擇相對應之槽體材料，並配合被剝膜光阻特性，運用機構設計達製程使用最佳狀況。可搭配消防系統與濃度監控儀。
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